洗浄する水に少しでも不純物が残っていると、回路パターンを短絡させたり、不純物半導体の組成を乱すなどの影響を及ぼすため、今日に至るまで、半導体素子の性能向上や回路パターンの微細化に伴って、超純水の不純物を減らし洗浄効果を高めるための様々な研究開発が続けられてきている。
1990年代以降、半導体の集積度は高まり続ける一方、コスト競争激化による製品歩留まりの追求が厳しさを増した。これは、素子自体の大型化・複層化による（微粒子1つによる被害が発生する）単位面積の増大と、（微粒子の直径に対する許容限界を引き下げる）パターン線幅の狭小化に応えつつ、コスト削減（それも劇的な）要求に応えなければならないことを意味する。
2000年代に入りバイオテクノロジー分野での利用が拡大している。これに伴い、研究室などでの超純水利用の需要拡大に応じラボ用の超純水製造装置が相次いで市場に登場している。
家族の大切さ
海斗の情報
鬼の面
金太郎
五寸にんじんのブログ
菜の花
自由への招待
純情ロマン
心の谷間
睡蓮セカンドライフ
赤い帽子
太陽のスポーツ施設
提案生活情報総合ライフ
豆納豆コンピュータ・カレッジ
美羽の家族
母への贈り物
目覚まし時計
雄大のスマイル
凌に意気投合
颯太スポーツ教室
超純水のグレードを表すため使用される指標は複数あるが、いずれも水中の不純物を何らかの手法で評価しているに過ぎず、例えば「超純水度」といったようなものは存在しない。これは超純水の製造・管理・利用目的がほぼ産業用途に限られ、ある産業分野で最も重視される指標が他分野では仕様外となる場合すらあるなど共通の基準が必要なかった背景による。実際、同じ工場でもラインによって管理指標の項目や基準値が異なることも珍しくない。
水質管理指標として一般に次のようなものが利用されているが、その他にも用途次第で多様な指標が利用されている。
微粒子数（個/L）：JIS K0554
水中の異物一般を指す。透明管内を流れる水にレーザー等を照射し続け、もし異物があれば散乱光が生じるため、回数から濃度を、強度から粒径を知ることができる。ギガクラスの記憶素子などの製造では、1リットル中に1個未満が基準の例もあるほか、局方の注射用水を製造する場合も厳しく管理されている。